Vibration Sensitivity of one-port and two-port MEMS microphones

目前，具有两个声学口的微电子机械系统（MEMS）麦克风备受关注，因为相比传统的单口架构，它们承诺实现更高的定向灵敏度。然而，测量两个口麦克风中的压力差通常需要比单口麦克风更柔软的传感元件，因此可能更容易受到外部振动的干扰。在这里，我们推导了一个通用的麦克风振动灵敏度表达式，并在几种新兴的两个口麦克风技术上实验证明了其有效性。我们还对单口麦克风进行了振动测量，从而直接比较了单口和两个口传感方法。我们发现，以测量的声压为单位，两个口MEMS麦克风的声学参考振动灵敏度（即每个外部加速度的帕斯卡尔）不取决于传感元件的刚度或其固有频率。我们还表明，与单口麦克风观察到的频率无关行为相反，两个口麦克风中的振动灵敏度与频率成反比例关系。这在几种麦克风包装类型上得到了实验证实。

研究MEMS麦克风的振动灵敏度问题，特别是两个声口的MEMS麦克风在外部振动干扰下的性能表现。

提出了一个通用的公式来计算MEMS麦克风的振动灵敏度，证明了两个声口MEMS麦克风的振动灵敏度与传感器元件的硬度和固有频率无关，是频率的倒数，而不是像单个声口麦克风一样与频率无关。

论文通过实验验证了两个声口MEMS麦克风的振动灵敏度与传感器元件的硬度和固有频率无关，是频率的倒数，而不是像单个声口麦克风一样与频率无关。

在相关研究方面，最近的研究包括“MEMS麦克风的声学性能比较研究”等。